l 吸收法：利用吸收液與廢氣相互接觸，使廢氣中的有害物質溶入吸收液中，從而使廢氣得以凈化。吸收液另行處理。
l 冷凝法：通過冷凝降溫，當溫度低于有害物質的凝結點時，氣態的有害物質轉化為液態，從空氣中分離出來，從而凈化。
l 等離子低溫催化氧化法：等離子體是物質存在的除固態、液態、氣態之外的第四種狀態，具有宏觀度內的電中性與高導電性。等離子體中含有大量的活性電子、離子、激發態粒子和光子等。這些活性粒子和氣體分子碰撣的結果，產生大量的強氧化性自由基O·、OH·、HO2 和氧化性很強的O3；有機物分子受到高能電子碰撞，被激發及原子健斷裂而形成小碎片基團或原子；O·、OH·、HO2、O3等與激發原子、有機物分子、基團、自由基等反應，最終使有機物分子氧化降解為CO、CO2和HO2。
l 吸附法：利用多孔性的活性炭、硅澡土、無煙煤等分子級的大表面剩余能，將有機氣體分子吸附到其表面，從而凈化。
